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全球首个纳米级微振动实验室在雄安投运,可测试大型半导体设备

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IT之家 3 月 31 日消息,国家开发投资集团有限公司(IT之家以下简称“国投集团”)旗下中国电子工程设计院股份有限公司(简称“中国电子院”)自主研发建设的纳米级微振动实验室,近日在河北雄安新区正式投运。

该实验室被认定为全球首个纳米级微振动实验室,标志着我国在精密装备微振动环境控制领域取得重要技术突破。

此次投运的纳米级微振动实验室,核心装置是一台由我国自主研发、全球尺寸最大且精度最高的微振动模拟实验台。

该实验台平面尺寸达 4 米 ×4 米,台体自重约 50 吨,设计承载能力高达 20 吨,能够满足大型半导体设备整机及卫星全尺寸载荷的高精度测试需求,这在全球范围内尚属首次。

在隔振技术方面,实验台采用了空气弹簧主动隔振系统,能够高效隔离来自周围地基及建筑结构的环境振动干扰,经实测验证可将环境振动降低两到三个 VC 等级,在实验台面上营造出极为纯净的微振动环境。

001Gal 至 5Gal 的加速度精密输出,能够模拟极其微弱的背景环境振动。

来源:IT之家

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